در دنیای تولید تجهیزات نیمه هادی،کیفیت سطح فقط به زیبایی نیست{0}}به عملکرد، طول عمر و دقت نیز میپردازد.. قطعاتی مانند ویفر چاک، پایه لنز و راهنماهای دقیق نه تنها باید تحمل ابعادی را داشته باشند، بلکهالزامات شدید پرداخت سطح، اغلب در زیرRa 0.1 میکرومتر.
چرا سطح پوشش نانومتری{0}}مهم است
تجهیزات نیمه هادی با عملکرد بالا به شدت به دقت تماس و سازگاری اتاق تمیز وابسته است. زبری سطح بیش از آستانه نانومتری می تواند:
دخالت کنددقت قرار دادن ویفر
افزایش دهیداصطکاک و سایشدر طول حرکت
علتپراکندگی سیگنال نوریفتولیتوگرافی را تحت تاثیر قرار می دهد
ایجاد کنیدتله ذرات، افزایش خطرات آلودگی
به عنوان مثال، الفحلقه پشتیبانی مرحله ویفربا زبری سطح بالاتر از مشخصات میتواند باعث ایجاد لرزشهای میکرو{0}}، کاهش دقت موقعیتیابی و کاهش عملکرد شود.
چالش ماشینکاری CNC
رسیدن به سطح Ra کمتر یا مساوی 0.1 میکرومتر بسیار فراتر از فرآیندهای استاندارد CNC است. ابزار و پارامترهای سنتی اغلب خراشهای ریز، علائم ماشینکاری، یا تنش باقیمانده- را در محیطهای نیمهرسانا غیرقابل قبول میگذارند.
رویکرد ما به کیفیت نانومتری{0}
درBISHEN دقت، ما گردش کار ماشینکاری را به طور خاص برای برنامه های کاربردی حساس سطح- توسعه داده ایم:
استفاده ازابزار کاربید دانه ریز-با هندسه های سفارشی
پاس پولیشدر مسیرهای ابزار نهایی ادغام شده است
سیستم های کنترل مایع خنک کنندهبرای جلوگیری از پارگیهای{0} میکرو- ناشی از گرما
هماهنگی باCMM و تداخلسنجهای{0}}نور سفیدبرای تأیید زبری
هر بخش تحت بازرسی چند مرحلهای قرار میگیرد نه تنها برای تحمل ابعاد، بلکه برایسازگاری سطح زیر-میکروندر تمام سطوح تماس
مورد واقعی: آینه-صفحات پشتیبانی ویفر تمام شده
یک مشتری به صفحات ویفر آلومینیومی با سطحی بهتر نیاز داشتRa 0.05 میکرومتر، یکنواخت در سراسر ثابت. با استفاده از تکنیکهای بهینهسازی شده-سرعت بالا و استراتژیهای پرداخت سفارشی، اجزایی فراتر از مشخصات-برای مونتاژ اتاق تمیز در سطح EUV{3}}آماده ارائه کردیم.
اجازه ندهید سطح پایانی سیستم شما را تضعیف کند
ناقص بودن سطح در مقیاس نانو می تواند به آرامی دقیق ترین مکانیسم های شما را به خطر بیندازد. اگر درخواست شما نیاز داردتکمیلهای درجه{0} نوری، یاعملکرد اصطکاک برتر، با ما صحبت کن ما کمک خواهیم کرد تا اطمینان حاصل شود که قطعات شما با هر دو مطابقت دارندتحملوبافت.
