تجزیه و تحلیل شی پردازش
مواد: شیشه کوارتز نوری
ویژگی های پردازش: سنگ زنی چند سطحی (شامل 3 وجه نامتقارن)
ابعاد کلیدی: 16×16×10 میلی متر (خطا 0.002 ± میلی متر)
این منشور کوارتز، که فقط به اندازه یک ناخن است، عنصر اصلی نور-عنصر هدایت کننده سیستم نوری یک دستگاه لیتوگرافی خانگی{1}بالا است. 8 سطح منحنی پیچیده آن باید به 99.6% گذر و دقت انکساری نانومتری دست یابند و زبری سطح مستقیماً بر وضوح نوردهی دستگاه لیتوگرافی تأثیر می گذارد.
نقاط درد صنعت و مشکلات فنی
یک شرکت فناوری نوری هنگام ترویج بومی سازی ماشین های لیتوگرافی با یک گلوگاه در پردازش منشور کوارتز مواجه شد:
عیوب سنگ زنی سنتی: زبری پس از پرداخت دستی همچنان به Sa 120 نانومتر می رسد که منجر به 15% از دست دادن پراکندگی نور می شود.
وابستگی تجهیزات به واردات: هزینه یک آسیاب فوق-دقیق ژاپنی بیش از 20 میلیون یوان است و دوره تحویل تا 18 ماه است.
بحران بازدهی: تنها 32 مورد از اولین دسته از 500 محصول آزمایشی استانداردها را برآورده کردند که به طور جدی پیشرفت پروژه را کاهش داد.
معضل "نتوانیم تجهیزات وارداتی را بپردازیم و فرآیندهای داخلی خوب نیستند" مستقیماً روند توسعه دستگاه لیتوگرافی مستقل را مسدود کرد.
BISHENراه حل راه حل ها
تیم فنی BISHEN در پاسخ به نیازهای دقت بسیار زیاد اجزای نوری، تحقیق و توسعه نوآورانه ای را توسعه داده است:
1. سیستم پردازش پیوند پنج محور عمودی اولتراسونیک-
2. 0.1μm-سطح جبران پویا، کنترل دقیق ماشین ابزارهای پیوند 18 محوره
3. تطبیق سطح نامتقارن برنامه نویسی هوشمند CAD/CAM
4. فن آوری سنگ زنی با فرکانس بالا{1}
5. 40ارتعاش اولتراسونیک کیلوهرتز 52% تنش برش را کاهش می‌دهد و از ریزترک‌های کوارتز جلوگیری می‌کند.
6. عمر چرخ آسیاب پودر میکرو{1}}الماسی 3 برابر افزایش یافته است
جهش عملکرد اندازه گیری شده واقعی
سه پیشرفت عمده در تولید انبوه نوع خاصی از منشور دستگاه لیتوگرافی داخلی به دست آمده است:
1. کیفیت سطح: زبری Sa<70nm (better than ASML supplier standard)
2. راندمان پردازش: ساعات کار تکی- از 14 ساعت به 3.5 ساعت کاهش می‌یابد.
3. کنترل هزینه‌ها: سرمایه‌گذاری در تجهیزات تنها 1/5 راه‌حل وارداتی است
نرخ بازده اولین دسته از 3000 محصول به 98.7 درصد افزایش یافت و به مشتریان کمک کرد تا مونتاژ نمونه های اولیه را 6 ماه زودتر از موعد مقرر تکمیل کنند.
در موردبیشن
BISHENفناوری دقیق (تاسیس‌شده در سال 2017) بر شکستن فناوری «گلوگاه» در زمینه تولید{1}بالا تمرکز دارد. این شرکت یک کارخانه دیجیتالی به مساحت 7500 متر مربع در دونگوان ساخته است که مجهز به خوشه‌های تجهیزات وارداتی مانند پنج-مرکز ماشینکاری پیوند محوری و آسیاب‌های نوری فوق-دقیق است. با استفاده از فناوری‌های نوآورانه مانند ماشینکاری اولتراسونیک و برش برودتی در تجهیزات نیمه‌رسانا، ابزار الکترونیک نوری و سایر زمینه‌ها، راه‌حل‌های پردازش قطعات کلیدی را برای بیش از 20 شرکت زنجیره‌ای صنعت ماشین‌های لیتوگرافی داخلی ارائه کرده و بیش از 500000 قطعه نوری دقیق را تحویل داده است.
