در زمینه تولید تراشه ، کیفیت پردازش حلقه های سیلیکون تک کریستالی به عنوان قطعه های اصلی به طور مستقیم بر عملکرد دستگاه های نیمه هادی تأثیر می گذارد. مجموعه ای از حلقه های سیلیکون تک کریستالی D360MM که توسط یک شرکت خاص پردازش شده است ، اخیراً تحت فرآیند سنگ زنی سنتی با سه مشکل اساسی روبرو شده است: راندمان پایین ، بسیاری از نقایص سطح و ترک خوردگی آسان دیوارهای نازک به دلیل ساختار پیچیده آنها (از جمله دایره داخلی ، دایره بیرونی ، هواپیما و ویژگی های مرحله).
پردازش پیش زمینه و نقاط درد صنعت
حلقه های سیلیکون تک کریستالی باید چندین فرآیند مانند خشن و اتمام را طی کنند و ساختار دیواره نازک آنها (ضخامت فقط 1.2 میلی متر است) به ثبات پردازش بسیار بالایی نیاز دارد. فرایند سنتی از چرخ های سنگ زنی برای سنگ زنی استفاده می کند ، اما کاستی های آشکار وجود دارد:
راندمان پایین:پردازش یک قطعه تا 408 ثانیه طول می کشد ، که مطابقت با نیازهای تولید انبوه دشوار است.
سطح سطح سطح: زبری بعد از سنگ زنی فقط RA {0}}. 30μm است و به پولیش اضافی نیاز است.
از دست دادن عملکرد عالی : میزان تراشیدن در ناحیه نازک دیواره بیش از 15 ٪ و هزینه از دست دادن مواد زیاد است.
Bishen Solutions: حکاکی دقیق و فناوری پیشرفت
با توجه به ویژگی های سیلیکون مونوکریستالی ، تیم فنی بیشن یک راه حل فرایند نوآورانه ارائه داد:
حکاکی دقیق و فرز و فرز: مقاومت برش را از طریق ابزارهای ارتعاش با فرکانس بالا کاهش دهید تا از نیروی متمرکز بر ساختارهای دیواره نازک جلوگیری شود.
DDR عمودی پر سرعت تورنت: با کنترل اتصال چند محوره ، یک بار شکل گیری سطوح کانتور را تحقق بخشید و بستن مکرر را کاهش دهید.
parameters پارامترهای برش: نرخ خوراک و عمق برش را برای ویژگی های شکننده و سخت سیلیکون مونوکریستالی بهینه کنید.
بازده پردازش از طریق معیارهای صنعت شکسته می شود
داده های تولید واقعی نشان می دهد که راه حل جدید به سه پیشرفت عمده دست یافته است:
- کارآیی 67 ٪ افزایش یافته است: زمان پردازش تک قطعه از 408 ثانیه به 136 ثانیه کوتاه می شود.
loge isherface : رسیدن به RA 0. 06μm ، پاسخگویی به الزامات مونتاژ مستقیم ؛
نرخ شکست به صفر نزدیک می شود: فناوری اولتراسونیک به طور موثری میکرو ترک ها را سرکوب می کند و مصرف مواد را 20 ٪ افزایش می دهد.
out about bishen
اسفنتمرکز بر تحقیق و توسعه فناوری و ادغام تجهیزات در زمینه ماشینکاری با دقت بالا است و متعهد به ارائه راه حل های سفارشی برای صنایع نیمه هادی ، نوری و پزشکی است. تیم این شرکت عمیقاً درگیر فناوری پردازش مواد فوق العاده است و بیش از 100 شرکت تولیدی در سراسر جهان خدمت کرده است. فن آوری های اصلی آن شامل ماشینکاری اولتراسونیک ، پیوند پنج محور و سیستم های بهینه سازی فرآیند هوشمند است.
