برش مواد بسیار-سخت و دشوار-به-ماشین آلات در ساخت نیمه هادی

وقتی صحبت از ساخت قطعات برای تجهیزات نیمه هادی و فوتونیک به میان می آید، این فقط در مورد میکرون نیست- بلکه در مورد موادی است کهماشینکاری CNC را به حد فیزیکی خود فشار دهید. مولفه هایی مانندویفر چاک, محفظه های پلاسما، ووسایل هم ترازیبه طور فزاینده ای ساخته می شوندمواد فوق-سختمانندسرامیک, کاربید تنگستن، یا فولادهای ضد زنگ سخت شده.

چالش: هنگامی که مواد به مقابله می پردازند

مواد فوق{0}سخت برای دوام، پایداری حرارتی و مقاومت در برابر خوردگی، به ویژه در محیط‌های نیمه هادی با خلاء و دمای بالا ضروری هستند. اما آنها چالش های عمده ای را به همراه دارند:

نیروهای برش بسیار بالا

سایش سریع ابزار، حتی با ابزار کاربید یا الماس روکش شده

میکروکراکینگیاتغییر شکل حرارتیتحت ماشینکاری معمولی

بگیریداجزای سرامیکی پیشرفتهبه عنوان مثال در یک پروژه که شامل یک حلقه حمایت از ویفر نیترید سیلیکون بود، سختی مواد از HRA 90 فراتر رفت. ابزار استاندارد در عرض چند دقیقه شکست خورد و تجمع گرما باعث شکستگی های سطحی شد.

چرا ماشین‌کاری معمولی شکست می‌خورد؟

تنظیمات ماشینکاری سنتی با این مواد مشکل دارند زیرا:

آسیاب های انتهایی استاندارد نمی توانند سختی را تحمل کنند

اصطکاک زیاد منجر به گرمای بیش از حد می شود که قطعه را مخدوش می کند یا عمر ابزار را کاهش می دهد

لرزش یا پچ پچ باعث ایجاد شکستگی های شکننده در سرامیک ها یا کاربیدها می شود

این امر به ویژه حفظ تلورانس ها در قطعات با آن را دشوار می کندمحدودیت های ابعادی محکممانند نگهدارنده لنزهای نوری یا فریم های اندازه گیری.

رویکرد ما: استراتژی مسیر ابزار + مهندسی فرآیند

درBISHEN دقت، ما با این قطعات مانند مشاغل استاندارد رفتار نمی کنیم. ما:

استفاده کنیدابزارآلات پوشش داده شده PCD، CBN و الماس-برای زیرلایه های فوق{0}سخت طراحی شده است

درخواست کنیدبرش کم{0}}نیروی،-سرعت بالابا نرخ خوراک بهینه و زمان ماندگاری

استخدام کنیدجداسازی مایع خنک کننده یا ماشینکاری خشکزمانی که حساسیت حرارتی حیاتی است

گنجاندندر-بازرسی فرآیندبرای گرفتن ترک ها یا ناهنجاری های سطحی قبل از عبور نهایی

پایه‌های سرامیکی-واقعی: ماشینکاری با خلوص بالا-

یک OEM لیتوگرافی جهانی به ما وظیفه ماشینکاری را داده استپایه‌های آلومینا با خلوص{0}بالا سفارشیبا<±5 μm tolerance. Using a controlled micro-cutting strategy, specialized jigs, and multi-pass finishing, we completed the parts with ریزترک صفرو عمر ابزار را بیش از 30 درصد افزایش داد.

ساخته شده برای مواد سخت، قابل اعتماد در{0}فناوری بالا

چه ماشین کاری باشدقطعات زیرکونیا برای کاشت یونیاتجهیزات آلیاژ تنگستن برای سیستم های تصویربرداری اشعه ایکس-، ما تخصص، ابزار و کنترل فرآیند مورد نیاز برای مقابله با آنچه دیگران از آن اجتناب می کنند را به ارمغان می آوریم.