در زمینه تولید تجهیزات نیمه هادی ، حلقه های دروازه Polysilicon اجزای اصلی در فرآیند تولید تراشه هستند. هنگام ترویج بومی سازی اجزای اصلی ، یک سازنده تجهیزات نیمه هادی داخلی با یک مشکل پردازش دشوار روبرو شد - لازم بود که سنگ زنی کانتور داخلی با دقت بالا و پردازش شیار بر روی حلقه های پلی سیلیکون با قطر 290 میلی متر و ضخامت 45 میلی متر و فرایندهای سنتی برای تأمین نیازهای تولید انبوه دشوار باشد.
پیشینه پیش زمینه و نقاط درد صنعت
A. پس زمینه پردازش
با توجه به خصوصیات نیمه هادی عالی ، Polysilicon به طور گسترده ای در بخش های ساختاری گیت تجهیزات مانند ایمپلنت های یونی و اچچرها مورد استفاده قرار می گیرد. چنین مؤلفه هایی باید بیش از 7 {1}}} ٪ از مواد را از طریق چندین فرآیند سنگ زنی حذف کنند ، در حالی که اطمینان حاصل می کنند که گرد بودن کانتور داخلی کمتر از یا مساوی با 0. 005mm و تحمل عرض شیار 0.01 میلی متر است ، که نیازهای سخت را بر پایداری تجهیزات پردازش و طول زندگی قرار می دهد.
b معضل پردازش سنتی
1. دستگاه های سنگ زنی سنتی راندمان پردازش کم دارند و یک قطعه واحد بیش از 8 ساعت طول می کشد
2. میزان تراشیدن در طول پردازش شکاف به اندازه 35 ٪ است ، در نتیجه ضربات دسته ای
3. انحراف دور دایره داخلی> 0. 015mm است که بر یکنواختی توزیع پلاسما تجهیزات تأثیر می گذارد
solutions راه حل های بیشن: فناوری اولتراسونیک + عملیات مشارکتی پر سرعت تورنت
با توجه به ویژگی های پردازش مواد سخت و شکننده Polysilicon ، تیم فنی بیشن یک راه حل سه در یک را سفارشی کرد:
1 حکاکی دقیق و سیستم فرز اولتراسونیک: ارتعاش با فرکانس بالا 20 کیلوهرتز مقاومت برش را 50 ٪ کاهش می دهد
2 DDR عمودی با سرعت بالا Turntable: 3000rpm ± 1 ″ دقت ، دستیابی به کنترل مسیر نانو سطح
3 راه حل ابزار کامپوزیت شیب :
از ابزارهای روکش الماس برای حذف سریع مواد در هنگام پردازش خشن استفاده می شود
ابزارهای PCD اولتراسونیک برای پردازش خوب تغییر می کنند
داده های اندازه گیری شده معیار صنعت را تازه می کند
در تأیید خط تولید مشتری ، راه حل بیشن به دست آمد:
راندمان پردازش 2.8 برابر افزایش یافته و زمان پردازش یک قطعه به 2.8 ساعت فشرده شد
میزان تراشیدن شکاف از 35 ٪ به {1}}. 5 ٪ یا کمتر کاهش یافته است
گرد بودن دایره داخلی به طور پایدار در 0}. 003-0. 005mm کنترل می شود
زبری سطح کمتر از یا مساوی با 0. 4μm ، که بهتر از سطح پردازش تجهیزات وارداتی است
این دستیابی به موفقیت باعث افزایش میزان صلاحیت تولید انبوه حلقه های دروازه Polysilicon از 61 ٪ به 98.7 ٪ شده است که با موفقیت جایگزین قطعات وارداتی شده است.
در مورداسقف
اسفنبیش از ده سال است که با تمرکز بر حل مشکلات پردازش "تحت فشار گردن" در صنایع نیمه هادی ، فتوولتائیک و سایر صنایع ، عمیقاً در زمینه تولید دقیق درگیر بوده است. 7،500 متر مربع کارخانه Smart این شرکت مجهز به ماژول های فناوری اصلی مانند پردازش با کمک اولتراسونیک و پیوند پنج محور است. این راه حل های کلیدی پردازش قطعات را برای بیش از 20 تولید کننده تجهیزات نیمه هادی داخلی ارائه داده است. فن آوری های مربوطه صدور گواهینامه ویژه تجهیزات ISO9001 و نیمه هادی را پشت سر گذاشته و همچنان به روند استقلال تجهیزات تولیدی سطح بالا کمک می کند.
