ریزماشینکاری دقیق برای هندسه های پیچیده در قطعات نیمه هادی

در تجهیزات پیشرفته نیمه هادی و الکترونیک نوری، پیچیدگی فراتر از شکل مقیاس کلان است. بسیاری از اجزای-مانندلنزهای نوری, سنسورهای MEMS، وعناصر محفظه لیزری-درگیر کردنریزساختارهای{0}دقت بالابا ویژگی های زیر{0}میلی متری. این ویژگی ها نیاز به ترکیبی ازوضوح فوق-خوبوکنترل چند محوریبسیار فراتر از قابلیت های ماشین کاری معمولی.

چالش: هندسه در مقیاس کوچک

میکروویژگی های پیچیده مجموعه ای منحصر به فرد از چالش های تولید را معرفی می کنند:

میکروکانال ها، دیوارهای نازک و پروفیل های منحنی

تحمل های زیر 100 میکرومتردر چندین هواپیما

خطر ازانحراف ابزار، تشکیل سوراخ، یاآسیب حرارتی

به عنوان مثال، در تولیدسنسور فشار MEMS، حفره های داخلی باید حجم ها و شکل های دقیق را حفظ کنند. حتی یک انحراف 10 میکرونی می تواند حساسیت و عملکرد کل دستگاه را مختل کند.

چرا ابزارهای سنتی شکست می خورند

هنگام استفاده از ابزار استاندارد:

برش های بزرگ یا سفت باعث می شودتغییر شکل ساختاری

سایش ابزار یا لرزش ایجاد می کندعیوب سطحی

گرمای حاصل از ماشینکاری منجر بهتاب برداشتن یا لایه لایه شدندر مواد لایه ای

این امر به ویژه برای قطعاتی مانندبراکت های اپتیک لیزرییامحفظه های تثبیت کننده تصویر، جایی که هر گونه اعوجاج می تواند منجر به ناهماهنگی سیگنال یا خرابی فوکوس شود.

راه حل ما: ماشینکاری چند محوری میکرو{{1}، کالیبره شده برای دقت

در BISHEN دقت، استفاده می کنیم:

فرز میکرو CNC 5 -محوربرای رسیدگی به آندرکات و زوایای مرکب

ابزارهای میکرو بسیار تیز (Ø < 0.2 میلی متر)برای جزئیات نسبت ابعاد-بالا

استراتژی‌های برش نیروی کم-وکنترل حرارتیبرای جلوگیری از ریز{0}}تغییر شکل

تکمیل سطح زیر Ra 0.2 میکرومتربرای مناطق نوری یا آب بندی

واقعی-کاربرد جهانی: قاب‌های حسگر MEMS

در یک مورد ما تولید کردیممحفظه حسگر MEMS آلومینیومیبا کانال های داخلی<0.3mm in width and wall thicknesses below 0.15mm. Through precision fixturing and in-process measurement, we maintained concentricity and flatness within 5 μm across 20+ cavities-without requiring secondary EDM or post-processing.

مورد اعتماد نوآوران{0}فناوری پیشرفته

راه حل های میکروماشینینگ ما پشتیبانی می کند:

مجموعه های فوتونیک

بازوهای انتقال ویفر نیمه هادی

بلوک های تراز لیزری

ماژول‌های حسگر درجه{0} هوافضا

با درک عمیق از رفتار مواد و الزامات هندسی در سطح خرد، ما به مشتریان کمک می‌کنیم تا چرخه‌های تکرار را کاهش دهند و عملکرد قطعه را-از مرحله نمونه اولیه افزایش دهند.