در ساخت تجهیزات نیمه هادی،ویژگیهای میکرو-مقیاس مانند سوراخهای خنککننده، کانالهای خلاء، یا میکرو{1}}مجرای سیالاختیاری نیستند-آنها مأموریت-بسیار حیاتی هستند. این سازه های کوچک نیاز دارنددقت فوق العاده، لبه های تمیز و سازگاریاغلب کمتر از 100 میکرون قطر دارد.
چرا دقت میکرو{0}}حفره مهم است
میکروکانال ها در بخش هایی مانند:
بشقاب های سرد و سینک های حرارتی
مجموعه های نوری و سرهای لیزری
پورت های خلاء چاک ویفر
اجزای- RF فرکانس بالا
حتی کوچکترین انحراف در قطر، تراز یا کیفیت سطح می تواند اتلاف گرما، آب بندی خلاء، یا دینامیک سیالات را مختل کند که در نهایت عملکرد سیستم را به خطر می اندازد.
چالش ماشینکاری CNC
ماشینکاری میکرو-حفره ای مشکلات منحصر به فردی را ایجاد می کند:
شکنندگی ابزاردر طول برش با سرعت بالا-
خطر ازایجاد سوراخ یا ریز{0}}ترک
مشکلات تخلیه تراشهمنجر به گرفتگی می شود
اعوجاج حرارتیدر طول عملیات طولانی
به عنوان مثال، هنگام ماشینکاریکانال های اتلاف میکرو گرما{0}}در یک صفحه سرد نیمه هادی، یک سوراخ یا انحراف شکل فقط چند میکرون می تواند رسانایی حرارتی را کاهش دهد و بر پایداری سیستم تأثیر بگذارد.
چگونه با آن مقابله کنیم
درBISHEN دقت، ترکیب می کنیمکنترل اسپیندل-سرعت بالا, ابزار با قطر میکرو-، واستراتژی های CAM تطبیقیبرای اطمینان از:
گردی و مخروطی سوراخ در تلورانس های تنگ قرار دارند
بدون فرآیندهای ثانویه،-رویسازی رایگان انجام میشود
کنترل چند محوری برای میکروویژگی های عمیق یا زاویه دار
اختیاری در{0}}شستشوی هوا یا اولتراسونیک برای پاکسازی تراشه
نتایج اثبات شده
برای مشتری نیمه هادی اخیر، ما تحویل دادیمصفحات هیت سینک آلومینیومیبا بیش از 500 میکرو سوراخ، هر کدام کمتر از یا مساوی 0.2 میلی متر قطر، در تحمل ± 5 میکرومتر و Ra کمتر یا مساوی 0.2 میکرومتر. قطعات تأیید اعتبار-خلاء و هدایت حرارتی- را بدون کار مجدد انجام دادند.
بیایید در مورد جزئیات میکرو شما صحبت کنیم
دقت در سطح خرد سیستمهای{0}با عملکرد بالا را از سیستمهای ناپایدار جدا میکند. اگر قطعات شما نیاز دارندسوراخ های میکرو{0}}یا کانال های دقیق بی عیب و نقص، ما آماده کمک هستیم-از نمونه سازی تا تولید حجمی.
