در صنعت نیمه هادی، تقاضا برای دقت در سطح میکرونی -تلرانس- متوقف نمی شود و تاتمیزی میکروسکوپی. هنگام ساخت اجزای حیاتی مانندویفر چاک, قاب های ماسک عکس، یاپایه های نوری، حتی یک ذره سرگردان می تواند کل دوره های تولید را به خطر بیندازد.
چالش: سازگاری اتاق تمیز در ماشینکاری
بر خلاف قطعات صنعتی معمولی، اجزای نیمه هادی اغلب باید تولید شوند-یا حداقل{1}}در زیرشرایط اتاق تمیز کنترل شده. دلایل ساده اما حیاتی هستند:
گرد و غبار یا برش زبالهمی تواند بر روی ماسک های نوری مستقر شود و باعث اعوجاج الگو شود.
باقیمانده نفت یا ذرات معلق در هوااز ماشینکاری ممکن است منجر به کاهش عملکرد در لیتوگرافی شود.
آلودگی فلزی یا کامپوزیتمی‌تواند دستگاه‌ها را-کوتاه کند یا در مراحل حکاکی اختلال ایجاد کند.
به عنوان مثال، را در نظر بگیریدماشینکاری حامل های ماسک کوارتز یا آلومینیوم. در حین یا بعد از عملیات CNC، اگر حتی یک ذره ساینده باقی بماند، می‌تواند به سطح ماسک عکس آسیب برساند-که منجر به نقص ویفر در هزاران تراشه می‌شود.
چرا CNC استاندارد کافی نیست
محیط های CNC سنتی برای ملاقات طراحی نشده اندالزامات اتاق تمیز ISO 5-7. اکثر مراکز ماشینکاری تولید می کنند:
براده های فلزی در اندازه میکرون-
مه روغن از سیستم های روانکاری
زباله های انبساط حرارتی از- دوک های با سرعت بالا
همه اینها با دنیای حساس ذرات-نیمه هادی ها ناسازگار هستند.
راه حل ما: تولید تمیز از طراحی تا تحویل
درBISHEN دقت، ما در آن تخصص داریمماشینکاری CNC فوق- تمیزبرای برنامه های کاربردی{0}فناوری پیشرفته. در اینجا نحوه انجام آن آمده است:
کنترل گرد و غبار حلقه بسته-وگزینه های ماشینکاری رایگان{0}}روغنبرای کاهش ذرات معلق
پست{0}}ماشین کاریتمیز کردن اولتراسونیکدر مایعات سازگار{0}}روم تمیز
نهاییمونتاژ و بازرسی در مناطق تمیز ISO 7
کاملپروتکل های ردیابی و بسته بندیحفظ نظافت از طریق حمل و نقل
این اقدامات به ما اجازه می دهد تا اجزایی مانندمحفظه های فوتونیک, نگهدارنده ویفر سیلیکونی، وقاب های تراز ماسککه الزامات سختگیرانه کارخانه های نیمه هادی و آزمایشگاه های نوری را به طور یکسان برآورده می کند.
واقعی{0}}کاربرد جهانی: اجزای پشتیبانی لیتوگرافی
در یک پروژه، دسته ای از آن را ماشینکاری کردیمقاب های حمل ویفربرای مشتری نیمه هادی جهانی این قاب ها نیاز به یکسطح Ra <0.2 میکرومتر, بدون فرز و بسته بندی بدون ذرات-. با ترکیب ماشینکاری خشک-سرعت بالا با بازرسی درجه تمیز-بهرد ذرات صفردر سراسر 120+ بخش.
آماده اید تا نیازهای تولید اتاق تمیز خود را برآورده کنید؟
اگر اجزای شما نه تنها باید دقت ابعادی را داشته باشند، بلکه باید آن را نیز رعایت کننداستانداردهای رایگان{0} آلودگی، ما اینجا هستیم تا کمک کنیم. بیایید مطمئن شویم که طرح‌های شما از CAD به اتاق تمیز-آماده-بدون مصالحه منتقل می‌شوند.
